集成电废气的种类

　　近十年来，集成电产业在我***得到了迅速的发展，随着产业规模的持续扩***，随之而产生的各种污染也不断引起企业、部门的高度重视。集成电产生的污染物主要有生产废水、工艺废气、生活污水、动力设备噪声和固体废物等。这些污染物必须进行有效治理才能提供安全的工作及******的生态。下面韵蓝环保为您介绍一下集成电产业所产生废气的种类。

　　①酸性废气:来源于工艺流程中使用各种酸液对芯片进行腐蚀、清洗的过程以及扩散等工序,主要污染物为氟化物、氯化氢、氮氧化物、硫酸雾等。

　　③有机废气:来源于清洗、匀胶、去胶、刻蚀、显影工序使用有机溶剂清洗的过程,主要成份为异丙醇、光刻胶等有机物。

　　⑤工艺尾气:来源于扩散、离子注入和CVD等工序使用的***殊气体,如硅烷、磷烷、砷烷、乙硼烷(B2H6)等,除部分在工艺中反应消耗外,其余均以尾气的形式排放。